元器件测试平台由半自动探针台、高低温设备、精密半导体参数分析仪、网络分析仪及1/f 噪声测试系统组成。该平台满足MOS、BJT、Diode、Inductor、Resistor等各类元器件的性能测试；高低温范围覆盖-55℃到200℃，满足DC、CV、RF成套模型测试需求；该平台还支持硅片级的工艺可靠性测试，如HCI 、HCI、VT Stability、 TDDB、EM等。该平台配备的12寸半自动探针台，满足从单颗Die到6/8/12寸硅片的测试要求。