设备和材料评估平台

研发中心致力于为国内外的半导体材料和设备厂商提供一个与生产线环境完全一致的新材料和设备演示验证平台，有效促进半导体制造产业链的整体发展。研发中心具备12英寸制程所需的设备和材料评估公共平台，并拥有一套符合大生产要求的研发、测试和验证服务体系，可为国内外半导体材料和设备厂商提供良好的中试环境和相关的评估验证服务，有效推进其产品在大生产线上的工程化应用。目前已与一批国际著名设备和材料厂商以及国内设备及新材料开发单位建立了紧密的合作关系，已为多家国内设备和材料厂商提供了验证评估服务，推进了集成电路材料设备产业的发展。